1.能使被超精研表面产生压应力。超精研过程中主要产生冷塑形变形，因而超精研后工件表面形成残余压应力。
2.改善fag轴承滚道的沟形误差。超精研可以有效的改善滚道的沟形误差，一般可改善35%左右。
3.能使套圈工作表面的接触面积增加。超精研后，套圈工作表面接触支承面积可由磨削后的15%～40%，增加到80%～95%。
4.能有效的减小波纹度。超精研过程中，当磨石与工件接触的圆弧大于或等于工件表面波纹度的波长时，就能保证磨石始终作用于波峰而不与波谷接触，这样波峰的接触压力较大，凸峰就被切除，因而减少了波纹度。